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齒輪泵在工作時，除與機械傳動齒輪一樣其齒面受到脈動接觸應力和摩擦力作用，齒根受到脈動彎曲應力作用外，整體還受到彎曲應力作用。為保證泵的性能和使用壽命，齒輪必須具有高的強度和高耐磨性。因此，中、高壓齒輪泵齒輪多采用低碳合金鋼制造。
液壓泵齒輪的制造工藝路線安排多是經滾齒、剃齒后進行熱處理，熱處理后齒面不再進行加工，這就要求在熱處理過程中不能出現氧化、脫碳現象，因而采用爐內油淬的可控氣氛爐。有時在滾齒后進行熱處理，而后再進行珩齒，則允許在熱處理后有微量氧化、脫碳層存在，在這種情況下，可采用井式爐進行滲碳，在油淬前的轉移過程中有少量氧化脫碳。
為保證齒輪端面和軸頸的垂直度，磨加工應用角度磨床，這時齒輪端面易產生磨削裂紋造成廢品。對此除在磨削工藝上采取措施外，在熱處理工藝上也應采取措施，即嚴格控制表層碳含量和殘留。
齒輪泵的零件的特點是體積小而精度要求高，在工作過程中承受復雜的公益條件。因此，在選材與熱處理上應保證有高的強度，良好的韌性，高的耐磨性和尺寸穩定性。液壓元件的零件熱處理工藝有特點：廣泛采用馬氏體分級淬火，減小零件淬火畸變。應用穩定化處理和冷處理，以保持零件的尺寸穩定。